Micro-Vu 精密影像测量仪Excel 654

基本规格 	Excel 654UM Excel 654UC
测量体积	600×650×400mm 
外形尺寸	1311×1604×2088mm 
重量	1500kg 
容量	100kg 
床台材质	花岗岩 
电源要求	93 - 264VAC,47 - 63Hz,10Amp
X，Y轴精确度	U= 3.0 +L/300μm 
Z轴精确度	U= 3.0 +L/150μm 
X，Y加速	1000mm/s2
Z加速	500mm/s2
X，Y速度	150mm/s2
光栅尺分辨率	0.1μm 
轮廓光，同轴光，表面光	红光LED技术（黑白机种使用）
白光LED技术（彩色机种使用）
光学镜头/倍率范围	12 * Opucal/2.5 * Digital Programmable Zoom/15x-1200x  
环境	20℃（680F）± 20,30-80％Humidity